Комплексное исследование наноразмерных платиносодержащих силикатных пленок, получаемых из золей
Н.Н. Губанова и В.А. Матвеев
(ОИКС, ПИЯФ НИЦ КИ и ОИТОЭР, ПИЯФ НИЦ КИ)
Время: 10 февраля 14:00
Место: Корпус №1
Авторами получены тонкие платиносодержащие силикатные пленки по методу золь-гель синтеза и проведено их комплексное исследование. Изучена структура и состав пленок, измерено распределение легирующей примеси (платины) по толщине пленок, определен микрорельеф поверхности. Синтезированные пленки обладают малой шероховатостью. Их толщина в зависимости от условий синтеза варьируется от 4 до 80 нм. Установлено, что на поверхности пленок формируются поры, параметры которых зависят от концентрации легирующего компонента – платины, и условий термической обработки. Наблюдается два вида пор: макропоры диаметром порядка 2 мкм и мезопоры диаметром 10-15 нм. Высоколегированные пленки отличаются существенно более высокой пористостью. Методом спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния измерено распределение концентрации платины по толщине пленки. Обнаружена повышенная концентрация соединений платины в приповерхностном слое.