Рентгеновская рефлектометрия тонких силикатных пленок, получаемых золь-гель методом

Рефлектометрия рентгеновского излучения (XRR) часто применяется для исследований тонких пленок и многослойных систем с характерными толщинами от одного до сотен нанометров. В основе метода лежит эффект интерференции волн рентгеновского излучения, отраженных от границ раздела сред с различными оптическими свойствами. Метод позволяет определять толщины и шероховатости тонких пленок и многослойных систем, а также восстанавливать профиль электронной плотности по глубине изучаемого образца.

В представляемой работе приведены результаты использования рефлектометрии рентгеновского излучения в качестве инструмента исследования тонких силикатных пленок содержащих наночастицы Pt и Pd, полученных осаждением из золей. В ходе исследования установлено, что методика золь-гель синтеза позволяет получать очень тонкие (от ~4 до 80 нм), равномерные по толщине платиносодержащие гладкие силикатные пленки, с малой шероховатостью (в пределах 1 -1,5 нм). Для пленок, содержащих наночастицы Pt, наблюдается градиент электронной плотности, при этом в верхнем слое плотность электронов заметно выше, чем у подложки, что свидетельствует о повышенной концентрации Pt вблизи поверхности пленок. В тоже время пленки содержащие соединения Pd характеризуются довольно однородным профилем электронной плотности по глубине.