Получение свободных тонких плёнок из W, Ti, Fe и сплавов Fe+Co.
Авторы:
Боровикова Н. В., Дериглазов В. В., Егоров А. И., Крутова Р. И., Песков Б. Г., Попова Г. Н., Вайшнене Л. А., Петухов А. К.
Авторы из ОИКС:
Год публикации:
1980
Журнал:
Приборы и Техника Эксперимента
vol. 6
182-183