Исследование квазидвумерных и квазитрехмерных упорядоченных пористых структур методами малоугловой дифракции в скользящей геометрии
Authors:
И.С. Дубицкий, Н.А. Григорьева, А.А. Мистонов, Г.А. Вальковский,
Н.А. Саполетова, С.В. Григорьев
Authors from CMD:
The year of the publication:
2017
Journal:
Физика твердого тела
N 12
vol. 59
2435
Keywords:
малоугловое рассеяние в скользящей геометрии, инвертированные опалы, АСМ
Abstract:
Метод малоуглового рассеяния синхротронного излучения в скользящей геометрии (GISAXS) впервые применен для исследования структуры приповерхностных слоев тонких металлических инвертированных опалов. На основании численной модели процесса рассеяния выделены вклады форм-фактора и структурного фактора в картину малоугловой дифракции. Взаимодополняющее использование SAXS- и GISAXS-методик позволило получить независимую информацию об объемных и поверхностных свойствах образцов, опреде- лить тип дефектов исследуемых структур. Результаты измерений были верифицированы с помощью атомно- силовой микроскопии.