Настоящая работа посвящена изучению состава, структуры и морфологии поверхности наноразмерных платиносодержащих кремнеземных пленок, синтезируемых по золь-гель технологии. Анализ данных оптической и атомно-силовой микроскопии, рентгеновской рефлектометрии и метода обратного резерфордовского рассеяния позволил выявить закономерности влияния условии синтеза, таких как концентрация исходных реагентов, длительность созревания золя, температура обработки, на структуру и состав пленок.