Влияние нанокристаллизующего отжига под действием растягивающей нагрузки на характер остаточных деформаций нанокристаллов в магнитомягком сплаве FeSiNbCuB (файнмет) исследовано методом рентгеновской дифракции. Показано, что ОЦК-решетка α-FeSi нанокристаллов растянута вдоль направления приложения нагрузки при отжиге и сжата в поперечном направлении. Как растяжение решетки вдоль кристаллографических осей, совпадающих с направлением растяжения, так и ее сжатие в поперечных ему направлениях, хорошо описываются в рамках теории упругих деформаций, учитывающей симметрию кубической решетки. Определены изотропный и анизотропный коэффициенты Пуассона нанокристаллов. Исследована термическая стабильность деформаций нанокристаллов. В результате отжига без внешних воздействий наблюдается уменьшение величины деформаций и уменьшение коэффициента Пуассона.