Влияние нейтронного облучения и отжига на свойства кремния, легированного германием

Авторы:
Итальянцев А.Г., Курбаков А.И., Мордкович В.Н., Рубинова Э.Э., Темпер Э.М., Трунов В.А.
Авторы из ОИКС:
Год публикации:
1988
Журнал:
ФТП vol. 22 834-838
Вверх