Генерация решеточных дефектов при термообработке кремния в хлорсодержащей атмосфере
Authors:
Курбаков А.И., Рубинова Э.Э., Соболев Н.А., Стук А.А., Трапезникова И.Н., Трунов В.А., Шек Е.И.
Authors from CMD:
The year of the publication:
1988
Journal:
Письма в ЖТФ
vol. 14
1929-1932