Генерация решеточных дефектов при термообработке кремния в хлорсодержащей атмосфере

Авторы:
Курбаков А.И., Рубинова Э.Э., Соболев Н.А., Стук А.А., Трапезникова И.Н., Трунов В.А., Шек Е.И.
Авторы из ОИКС:
Год публикации:
1988
Журнал:
Письма в ЖТФ vol. 14 1929-1932
Вверх