Silicon device engineering by intrinsic point defect control
Авторы:
Sobolev N.A., Vyzhigin Yu.V., Gresserov B.N., Sheck E.I., Kurbakov A.I., Rubinova E.E., Trunov V.A.
Авторы из ОИКС:
Год публикации:
1991
Журнал:
Solid State Phenomena
vol. 19/20
169-174